金屬四探針測試儀 電阻率檢測儀

金屬四探針測試儀 電阻率檢測儀 型號：DP-RTS11

金屬四探針測試儀 電阻率檢測儀概述

DP-RTS11型金屬四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法的，用于測試金屬材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。

儀器由主機、探針測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由四探針測試儀主機直接顯示，亦可與計算機相連接通過四探針軟件測試系統控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到 Excel 中，讓用戶對數據進行各種數據分析。

儀器采用了新電子技術進行設計、裝配。

本儀器適用于工廠、科研單位、院校對金屬材料的電阻性能測試。

技 術 指 標 ：

測量范圍

電阻率：10-7～10-2?.cm；

方塊電阻：10-6～10-1 ?/□；

電導率：102～107s/cm；

電阻：10-7～10-2?；

可測晶片直徑

140mmX150mm(配 2A 型測試臺)；

200mmX200mm(配 2B 型測試臺)；

400mmX500mm(配 2C 型測試臺)；

恒流源 電流量程分為 0.1A、1A、10A 三檔，各檔電流連續可調

數字電壓表

量程及表示形式 000.00～199.99 mV；

分辨力：1µV；

輸入阻抗＞1000M?；

精度：±0.5% ；

顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標

間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻：≥1000M?；

機械游移率：≤0.3％；

探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm；

探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應用參數 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤

0.0001Ω、0.001Ω、0.01Ω≤0.5％±１字；

整機測量大相對誤差 用標準電阻（0.0001Ω～0.01Ω）測試≤±3％；

整機測量標準不確定度 ≤8％

軟件功能

軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數據，并統計分析測試數據大值、

小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數據生成

直方圖，也可把測試數據輸出到Excel中，對數據進行各種數據分析。軟件還可

選擇自動測量功能，根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口 并口，并行采集數據，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要 1.5 秒標準使用環境 溫度：23±2℃；相對濕度：≤65％；